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高真空门阀

产品运用：200 、300和450mm晶圆半导体生产系统大气侧的负载锁定室的隔离。产品优势：1 、打开关闭时间短，感应灵敏，使用寿命长；2 、低颗粒产生，无震动，保养便捷，运用广泛。产品特点：拆卸保养方便，性价比高，独特气缸设计尺寸：可按客户需求定制产品材质：航空铝材密封方式：橡胶圈密封

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产品运用：200 、300和450mm晶圆半导体生产系统大气侧的负载锁定室的隔离。

产品优势：

1 、打开关闭时间短，感应灵敏，使用寿命长；

2 、低颗粒产生，无震动，保养便捷，运用广泛。

产品特点：拆卸保养方便，性价比高，独特气缸设计

尺寸：可按客户需求定制

产品材质：航空铝材

密封方式：橡胶圈密封

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