高真空快速保护阀

产品运用：主要在半导体工艺和真空度要求高、在芯片存储生产中，因为设备要长期不间断稳定在一个规定的高真空系统，真空系统中的粒子和颗粒期间不能被任何因素所影响，所以需要一个当其设备配件出现概率性故障时能极快切断保护好高真空系统。

产品优势：

动平衡稳定，性能优越，抗腐蚀性能好，反应迅速，可实现阀体加热或者水冷结构，使阀门的真空度稳定，任意方向安装，气密性好。且采用连轴进给装置和轴向密封，使产品稳定，使用寿命增长，各种法兰类型均可适配。

产品特点：在设计或者机器发生故障，需要紧急停机的时候，快速反应的阀门可以在极短时间内切断气流，从而防止气体泄漏或者污染环境，保护系统和设备免受损坏，特别是在有毒气体的使用环境中，保护操作人员和设备空间的健康和安全。

执行器： 快速气动

产品材质：不锈钢/铝合金

法兰类型：ISO-F,CF-F,ASA,JIS B,ISO-K

密封类型：橡胶圈密封