高真空T型输送阀

产品运用：200 、300和450mm晶圆半导体生产系统中的传送和处理室隔离腐蚀工艺，例如蚀刻和CVD。

产品优势：

1 、几乎无颗粒产生，可实现 阀门密封的均匀压缩和长寿命。

2 、快速平稳运行，使用寿命长，可调节不同密封材料的密封力。

3 、可锁定在打开和关闭位置，易于维护。

产品特点:

执行器:    气动、气动带自锁      产品材质:   航空铝材

密封方式:   橡胶圈密封+波纹管密封