产品运用:
该阀门主要应用于 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件,改变阀门开度的流导特性。控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置,以尽快
实现设定压力。 产品优势:
①工艺可控性好,真空模式和角度模式可任意选择切换;
②恶劣工艺条件下可实现可靠 运行;
③响应快,精度高,可外接真 空传感器。
产品特点: 可电动控制完成阀门调节流量或气动控制开关 法兰类型: IS0-KF, IS0-F, CF-F, ASA-LP, JIS
密封材料: 丁腈橡胶、氟橡胶、具体可按工艺需求选配




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